原子层沉积石墨烯薄膜的制备及其电学性能分析 .pdfVIP

原子层沉积石墨烯薄膜的制备及其电学性能

分析

石墨烯是一种由单层碳原子构成的二维薄膜，具有卓越的电学、光学、力学和

热学性能，被视为下一代电子器件的重要材料之一。石墨烯的制备方法有很多，其

中原子层沉积是一种有效的方法，它可以在晶体表面上控制单层薄膜的生长，使其

具有更好的结晶性和均匀性。本文将介绍一种基于原子层沉积的石墨烯薄膜制备方

法，并对其电学性能进行分析。

一、原子层沉积的石墨烯制备方法

1.制备基底

首先要选择适合石墨烯制备的基底，一般采用单晶体硅作为基底。将硅基片进

行清洗处理，除去表面的有机物、粉尘等杂质，然后用氢气等离子体将表面进行去

氧化处理，使基底表面呈现出亲水性。

2.沉积金属薄膜

在清洗好的硅基片表面，沉积一层金属薄膜，一般采用镍或铜金属，以作为石

墨烯的催化剂。金属的沉积可以采用电极沉积、热蒸发或磁控溅射等方式。

3.催化剂活化

将沉积好金属薄膜的硅基片放入化学气相沉积(CVD)反应器中，在高温下进行

催化剂活化。将催化剂暴露在氢气或甲烷等气体的作用下，形成一层碳化物或碳纳

米管。这些碳纳米管可以作为石墨烯的种子晶体，在后续的沉积过程中起到重要作

用。

4.石墨烯沉积

在催化剂活化好的硅基片上，沉积一层石墨烯。我们可以采用CVD方法，在

反应器中加入甲烷等石墨烯前体气体，在高温下进行反应。石墨烯会在催化剂上生

长，形成单层的石墨烯薄膜。

二、石墨烯薄膜的电学性能分析

探究石墨烯的电学性能是石墨烯研究的重要方向之一。石墨烯的导电性强，穿

过石墨烯薄膜的电流密度可以达到约2.5×10^8A/cm2，反映了石墨烯具有极高的载

流子迁移率和极低的电阻率。

1.电场效应

石墨烯的电学性能受到电场效应的影响。通过在石墨烯上施加电压，可以改变

石墨烯晶格中碳原子之间的电子分布，从而调节石墨烯的电学性质。研究表明，在

强电场作用下，石墨烯内的电子将发生定向运动，形成电场效应管道，这种现象被

称为Klein隧道效应。

2.纳米带电极

研究人员发现，通过在石墨烯薄膜上用电子束刻蚀技术制造微米尺寸的纳米带

电极，在两个电极间加电压，可以产生独特的输运物理现象。石墨烯的导电性可以

被调节，石墨烯上的电子可以输运，甚至可以出现量子振荡现象。

3.光电输运

石墨烯是一种光学材料，它的光吸收截面很大，可以对入射光进行快速响应，

因此在光电器件方面具有广泛的应用前景。石墨烯薄膜可以用作太阳能电池、光探

测器等光电器件的基底材料，以及布拉格反射器等光学元件。

总之，原子层沉积是一种非常有效的石墨烯薄膜制备方法。通过对石墨烯的电

学性能分析，可以更好地了解和掌握石墨烯的物理特性，为石墨烯相关领域的研究

提供支持和启示。