MEMS 陀螺仪简介及其应用 .pdfVIP

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来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机

MEMS陀螺仪简介及其应用

械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。

杨永110204116

2.MEMS陀螺仪（gyroscope）介绍

摘要：自陀螺仪问世，因其独特的性能，广泛地应用于航海、航空、航天以及国民经济等领域。

陀螺及其相关技术一直是各国重点发展的技术之一，发展十分迅速。迄今为止，陀螺仪从传统的刚2.1MEMS陀螺仪（gyroscope）的工作原理

体转子陀螺仪到新型的固态陀螺仪，种类十分繁多。液浮陀螺、静电陀螺和动力调谐陀螺是技术成

传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向

熟的三种刚体转子陀螺仪，达到了精密仪器领域内的高技术水平。随着光电技术、微米/纳米技术的

不随承载它的支架的旋转而变化。

发展，新型陀螺仪如激光陀螺、光纤陀螺和微机械陀螺应运而生。它们都是广义上的陀螺仪，是根

据近代物理学原理制成的具有陀螺效应的传感器。因其无活动部件，称为固态陀螺仪。这种新型全但是MEMS陀螺仪（gyroscope）的工作原理不是这样的，因为要用微机械技术在硅片衬底上加

固态的陀螺仪将成为未来的主导产品，具有广泛的发展前途和应用前景。工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。MEMS陀螺仪利用科里奥利力——旋转物体在有径向运

动时所受到的切向力。下面是导出科里奥利力的方法。有力学知识的读者应该不难理解。

关键词：MEMS；陀螺仪；光学陀螺；微机械陀螺

在空间设立动态坐标系（图一）。用以下方程计算加速度可以得到三项，分别来自径向加速、

1.MEMS概述里奥利加速度和向心加速度。

MEMS是英文MicroElectroMechanicalsystems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系

统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指

对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部

件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信

息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工

图一动态坐标系

技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性

能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统（MEMS）是近年

命题教师：1.出题用小四号、宋体输入打印，纸张大小为8K.

考生：1.不得用红色笔，铅笔答题，不得在试题纸外的其他纸张上答题，否则试卷无效。2.参加同卷考试的学生必须在“备注”栏中填写“同卷”字样。3.考试