OME光机电一体化 .pdfVIP

OME光机电一体化是多学科领域综合交叉的技术密集型系统工

程，包含了机械技术、计算机与信息处理技术、系统技术、自动控制

技术、传感与检测技术、伺服传动技术和光电技术。光机电一体化是

传统工业被微电子技术逐步渗透过程形成的一个新概念，是微电子技

术、机械技术相互交融的产物，是集多种技术于一体的新兴交叉学科。

光机电一体化的发展和进步有赖于相关技术发展和进步，其主要

发展方向有数字化、智能化、模块化、网络化、人性化、微型化、集

成化、带源化和绿色化。

数字化的实现便于远程操作、诊断和修复，产品的虚拟设计与制

造将大大提高设计制造的效率，节省开发费用。

赋予光机电产品一定的智能，使它具有人的判断推理、逻辑思考、

自主决策能力。例如在CNC数控机床上增加了人机对话功能，设置了

智能I／O通道和智能工艺数据库，给使用、操作和维护带来了极大的

方便。人工智能技术、神经网络技术及光纤技术等领域取得的巨大进

步，为光机电一体化技术开辟了发展的广阔天地。大量的智能化光机

电一体化产品不断涌现。现在，“模糊控制”技术已经相当普遍，甚

至还出现了“混沌”控制的产品。

研制和开发具有标准机械接口、动力接口、环境接口的光机电一

体化产品单元是一项复杂和有前途的事情。如研制具有集减速、智能

调速、电机于一体的动力装置单元，具有视觉、图像处理、识别和测

距等功能的控制单元，以及能完成典型操作的装置。利用标准单元迅

速开发出新的产品，也可扩大生产规模。这需要制定各项标准，以便

各部件、单元的匹配和链接。光机电一体化产品模块化的发展促进了

新产品的开发，品种不断增多，花样不断翻新，缩短了开发周期。以

驱动为核心的驱动模块单元，以伺服为核心的运动控制模块单元，以

两根导线把各功能单元连接起来的总线或现场总线等，已形成了标准

化的产品。

目前在世界范围内研制的微光机电系统主要包括空间光调制器、

光盘读取头、微机械光开关、光衰减器、光扫描器以及光谱仪等。其

中微机械光开关具有串话小、插入损耗小、消光比高、对波长和偏振

不敏感、稳定性好、造价低等优点，在光纤通信和光纤测试系统中具

有广阔的应用前景。*尺寸大小一般泛指从数厘米到数微米的范围，

通常把尺寸为1～100mm的称为小型系统，0．1～1mm称为毫米系统,1～

100μm称为微米系统*

MEMS微机电系统的四个子结构分别为微驱动器、微传感器、

信息处理系统和接口。

LIGA技术是一种利用同步辐射X射线制造三维微器件的先进技

术,用LIGA技术获得的微器件具有较大的高宽比和精细的结构,

其厚度可以达到几百微米,并且垂直度非常好,侧壁光滑,表面平

整,同时还可以得到活动的微器件,如微齿轮、微接插件、微过滤网、

微加速度传感器和微型涡轮等,但由于其设备昂贵,所以离实际应

用还有一定距离。近来立体光刻蚀微细加工技术（MSPL）也越来越受

到人们的重视,不久将来微制造技术必有新的突破。

当系统的尺寸减小到一定程度后,会发生很多特殊现象,如表

面效应、尺寸效应、封装效应等,而且这些效应的理论机理还不太完

善,并且大多计算复杂,难以实用化。针对实际研制的电容式微加速

度传感器和电磁式微型电动机系统,现提出一种理论和实验相结合

的建模方法,即首先利用理论分析获得系统的模型类型,并求得一

些易于获得的参数,对另一些不易求得的参数则通过实验分析获得。

通常一个系统要实现

一种基于理性原则的多机器人协调控制

最优控制需满足两个基本条件.首先,系统要存在最优解;其

次,在寻找最优解的过程中,要能获得系统足够的信息.

在系统理性控制问题中,设计准则一般要考虑两个方面,一个

是控制的最终结果(定义为准确度性能指标),另一个是控制所需

的费用(定义为排斥度性能指标).根据具体需要建立决策系统性

能指标后,不是对性能指标函数求极值,而是定义一个性能指标的

最小标准或阈值,如果决策空间中的解不能满足这个标准,则这些

解是无理的,而那些满足最小标准的解则认为是有理的。

蓝牙技术在伺服控制系统中的应

用研究

为减少复杂伺服控制系统布线，增加系统布局的灵活性，设计

了利用蓝牙无线通讯技术实现部分信号传输的伺服系统，并通过试

验对其通讯能力进行了测试。结果表明，该系统的传输误码率为3.98

PPM，平均传输延迟＜20ms，系统的可靠性高，