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FFU安装使用维护说明书

ffu使用说明

请详细阅读本说明书,并妥善保存,以备日后维护时参考。

目录

概述

1-1风机过滤器单元

1-2结构及特点

重要安全事项

2-1安装使用环境

2-2运送与安装

2-3安装?使用注意事项

使用说明

3-1运转前点检事项

3-2运转时注意事项

维护说明

4-1日常维护

4-2定期维护

4-3故障排除

FFU安装使用维护说明书附录

FFU安装使用维护说明书内容包含风机过滤器单元的安装-使用-维护-方法,本机体是安装在

洁净区域天花板上,藉由滤网捕捉室内空气中的尘埃,为能平稳且安全地发挥机体性能,使

用前请详细阅读FFU安装使用维护说明书。

注:本公司为了提高产品质量和性能,在不断改进和创新中,本产品如有更新或更改,我公

司随时更改本FFU安装使用维护说明书,恕不另行通知。

FFU安装使用维护说明书概述

1-1风机过滤器单元

风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。

风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以

0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。

FFU使用环境:

周围温度:5℃~40℃

湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)

周围空气:一般室内空气

清净度:100-10级

请避免连续反复ON/OFF操作机体

如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气

短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。

为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的〝重要安全事项〞。

1-2结构及特点

(1)FFU主要部件

(2)表1.部件明称及功能(参考图1)

2.重要安全事项(请参考FFU安装使用维护说明书)

不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低,使用时请务必遵守下列事项:

2-1安装使用环境(请参考FFU安装使用维护说明书)

风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。

设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。

请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可

能会导致火灾或爆炸等事故发生。

请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化

学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。

2-2FFU运送与安装

请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便

推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。

机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体维修,未预留足够

的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。

试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。

2-3FFU安装使用注意事项(请参考FFU安装使用维护说明书)

风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示

当进入无尘室时

请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。

请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。

请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。

点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。

切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。

请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。

请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常

发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。

实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。

3.FFU安装使用(请参考FFU安装使用维护说明书)

3-1运转前检查事项

运转前请先检查下列注意事项:

机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。

机体接地工事是否已实施。

机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。

3-2运转时注意事项

(1)开始运转(请参考FFU安装使用维护说明书)

当电源开启后,机体即开始运转。

机体运转后请确认是否有异常现象。

当有下列情形发生,机体无法正常运转时,请向经销服务人员反映。

机体内部有异物,机体离心风扇无法正常旋转。

机体内部电线脱落,接头松脱。

机体内部电气部件,如过电源插头、马达损坏。

(2)停止运转

运转后如发现异常现象,请即切断电源,停止机体运转。

4.维修点检

自购买日起进行定期检查,

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