超宽禁带半导体材料检测标准研究.pdf

电子工业专用设备

材料制造工艺与设备EquipmentforElectronicProductsManufacturing

超宽禁带半导体材料检测标准研究

曹可慰

(中国电子技术标准化研究院袁北京100007)

摘要系统梳理了半导体材料和金刚石超宽禁带半导体材料现行国际和国内标准体系总结

半导体材料标准经验结合超宽禁带半导体材料发展阶段和现阶段标准需求提出了超宽禁

带半导体材料检测方法标准先行的发展思路并具体提出了热导率尧电学性质尧位错密度尧几何尺

寸和表面粗糙度五项超宽禁带半导体材料检测标准需求遥

关键词超宽禁带半导体材料曰检测标准曰检测方法

中图分类号TN304.07文献标识码B文章编号1004-4507(2019)05-0048-05

StudyonInspectionStandardsofUltra-wideBandgap

SemiconductorMaterials

CAOKewei

(ChinaElectricsStandardizationInstitute，Beijing100007，China)

Abstract:Thispapersystematicallysortsoutthecurrentinternationalanddomesticstandardsof

semiconductormaterialespeciallyultra-widesemiconductormaterial，summarizestheexperienceof

semiconductormaterialstandardization，refinesthestandardizationrequirementsatcurrentstage，and

proposesfiveinspectionmethodstandardadvisesincludingthermalconductivity，electricalproperties，

dislocationdensity，geometricsizeandsurfaceroughness.

Keywords:Ultra-widebandgapsemiconductormaterial；InspectionStandard；Testmethod

半导体材料是信息技术的基础，先进半导体禁带宽度大于4eV超宽禁带半导体材料，拥有更

材料已列入我国《中国制造2025》、《“十三五”国大的击穿电压极限工作温度，特殊波段的光学特

家战略性新兴产业发展规划》《新材料产业发展性[1]，属于第三代半导体材料，具有广阔的前景。尤

指南》等重大政策中的关键战略材料。[2]

其是金刚石材料，拥有最优异的力学性质、最大的

[3]

载流子迁移率、最高的热导率极高的击穿电压，

1超宽禁带半导体材料的性能是各方面性能全面优异且元素丰度极高的完美半

导体材料。

以金刚石、氮化、氧化镓氮化硼为代