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SiO2薄膜光学器件结构设计及制备技术研究进展
引言
平板显示器产业在“十二五规划”中作为国家战略的发展重点，给薄膜化产品明确了发展方向，这给带通滤光片的发展带来一定的促进作用。“十二五规划”以来，自主研发技术不断加强，不同品种的光学薄膜相继被生产出来，如：增亮膜、偏振保护膜、反射膜、硬化膜等。因此，为适应社会发展需要，研究出性能更优的SiO2薄膜为人所用是非常重要的，这不仅会改变人们的生活方式，还能够加快科技的发展。
SiO2薄膜的抗腐蚀强和物理化学性质稳定，因此其光学性能也较为稳定，被广泛应用于光学器件中。在太阳能电池中，常被用作吸收层来提高对光能的吸收率。SiO2薄膜
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