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超高真空物理与技术基础6.pdf

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    第五章真空获得设备

    （二）

    5.5扩散泵

    前面所介绍的各种泵都是应用在低真空的工作环境，如果要使真空环境达到

    高真空，就必须配有其它种类的泵。扩散泵是在高真空泵中第一个被研发出来的，

    它是利用低压、高速和定向流动的油蒸汽射流抽气的真空泵。它的极限真空为

    10－6－1－5

    帕量级，在10～10帕压力范围内具有稳定的大抽速，抽速范围可从几十

    升到十几万升/秒。油扩散泵是早期获得高真空和超高真空的主要

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