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GEM)系列:SECS-II_(11).SECS-II接口设计.docx

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SECS-II接口设计

1.SECS-II协议概述

SECS-II(SEMIEquipmentCommunicationStandardII)协议是半导体制造业中用于设备与主机之间通信的标准协议。SECS-II协议定义了设备与主机之间的消息格式和通信机制,确保了设备与主机之间的高效、可靠和标准化的通信。SECS-II协议是SECS-I协议的扩展,支持二进制数据传输,从而提高了通信效率和数据传输的可靠性。

1.1SECS-II消息结构

SECS-II消息结构是协议的核心部分,定义了消息的格式和编码方式。SECS-II消息由以下几个部分组成:

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