GEM）系列：E30_（9）.GEM系列：E30安全机制与防护.docx

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安全机制与防护

1.引言

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中，安全机制与防护是至关重要的一个环节。半导体制造过程涉及复杂的设备和精密的操作，任何安全漏洞都可能导致严重的生产事故、数据泄露或系统瘫痪。因此，了解和掌握SECS/GEM系列的安全机制与防护措施，对于确保生产过程的稳定性和安全性至关重要。

2.安全机制概述

SECS/GEM系列的安全机制主要分为物理安全、网络安全和数据安全三个层面。物理安全确保设备的物理完整性，网络安全防止未经授权的访问和数据传输，数据安全则保护生产数据的完整性和机密性。

2.1物理安全

物理安全主要是通过