GEM）系列：GEM400_（7）.GEM400安全机制与防护.docx

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GEM400安全机制与防护

1.安全机制概述

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）中，安全机制与防护是确保设备正常运行、防止数据泄露和系统故障的关键环节。GEM400标准提供了一套全面的安全机制，包括物理安全、网络安全、数据安全和访问控制等多个方面。这些机制不仅保护设备免受外部威胁，还确保内部操作的合规性和安全性。

2.物理安全

物理安全是指保护设备和相关硬件不受物理损坏或未经授权的访问。GEM400标准中，物理安全主要涉及以下几个方面：

设备防护：设备应放置在安全的物理环境中，例如封闭的机房或专用车间，以防止未经授权的人员接触设备。

环境监