DB22T 2651-2017 数字式激光球面干涉仪校准规范.pdfVIP

ICS17.180.30

N35

备案号：56355-2017DB22

吉林省地方标准

DB22/T2651—2017

数字式激光球面干涉仪校准规范

Digitallasersphericalinterferometerscalibrationspecification

2017-06-12发布2017-08-12实施

吉林省质量技术监督局发布

DB22/T2651—2017

前言

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准由吉林省工业与信息化厅归口。

本标准起草单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。

本标准主要起草人：马冬梅、张海涛、于杰、张文龙。

I

DB22/T2651—2017

数字式激光球面干涉仪校准规范

1范围

本标准规定了数字式激光球面干涉仪的术语和定义、概述、特性、校准条件、校准项目和校准方法。

本标准适用于新制造（或新购置）、使用中、维修后的数字式激光球面干涉仪的校准。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T17163-2008几何量测量器具术语基本术语

3术语和定义

GB/T17163-2008中确立的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

光学波面opticalwavefront

由干涉仪主机出射的或由参考面反射（透射）的或由被测光学元件表面（或光学系统）反射（透射）

的携带面形偏差（光学系统波像差）信息的光。

3.2

峰谷值peaktovalleyvalue

被检验波前（或镜面）范围内与最佳匹配的参考波前的光程差最高（前）点到最低（后）点的距离，

简称PV值。

3.3

均方根值rootmeansquarevalue

被检验波前（或镜面）范围内与最佳匹配的参考波前的光程差平方的和的平均值的开方，简称RMS

值。

4概述

4.1用途

数字式激光球面干涉仪主要用于光学元件凸凹表面面形和光学成像系统波像差的测量。

4.2工作原理

数字式激光球面干涉仪根据光学干涉原理（如图1）采用由干涉仪的参考面反射的光学波面和其透

射的光学波面经被测试光学元件（或光学系统）反射后二者产生干涉。通过移相技术产生多幅移相干涉

图，用计算机控制CCD摄像机对移相干涉图进行同步采集，对干涉图信息进行数据分析处理后得到被测

试光学元件（或光学系统）的波前信息（PV值、RMS值）。

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DB22/T2651—2017

参考面

8

W

被检面