洁净室及相关受控环境 静电控制技术指南-编制说明.pdf

《洁净室及相关受控环境静电控制技术要求》征求意见稿

编制说明

1．工作概况

根据“国家标准化管理委员会关于下达2023年国家标准复审修订计划的通

知”（国标委发〔2023〕64号）要求，全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员

会（SAC/TC319）组织成立了《洁净室及相关受控环境静电控制技术指南》（计划

编号T-469）国家标准的修订工作组。修订工作组严格按照国家标准制

定工作程序开展工作，对标准草案进行了认真的讨论、修改，形成了本标准的征求

意见稿。

2．修订意义、原则和主要内容

2.1修订意义

现行的《洁净室及相关受控环境静电控制技术指南》（GB/T33555-2017）从

术语和定义、静电控制、培训与规范等方面对洁净室及相关受控环境的静电控制提

出了指导性建议和技术方向，为行业发展做出了重大贡献。

随着我国电子、航空航天、医疗卫生等行业的快速发展，对洁净室及相关受控

环境的静电控制要求不断提高，国际上以IEC61340为代表的静电控制技术体系也

不断更新。本次修订在2017版基础上，针对洁净室及相关受控环境中的静电来源

和危害特点，围绕静电控制要素，结合静电控制技术的发展和进步，系统提出符合

洁净室设计、运行特点的静电控制技术要求，有助于不断提升洁净室静电控制技术

水平。

2.2修订原则

（1）在2017年版本“静电控制”基础上，突出洁净环境下的静电控制要素，

对人员，工作表面，环境和区域，工艺设备及工具，包装、转运和储存等方面，系

统的提出了符合洁净室设计、运行特点的静电控制技术要求。

（2）充分考虑洁净室洁净度、气流组织、温湿度、压差等技术特点，提出适

合在洁净室及相关受控环境中应用的静电控制技术要求。

2.3主要修订内容

本标准主要修订内容如下：

（1）更改了标准适用范围（见第1章，2017版的第1章）；

（2）术语和定义：

更改了静电控制、静电放电、静电耗散材料等定义（见3.1、3.3和3.13，2017

年版的3.4、3.5和3.1）；

删除了静电场等术语（见2017年版3.2、3.3、3.6和3.7）；

增加了静电放电敏感（的）、静电吸引、防静电工作区、静电起电、孤立导体、

人员操作表面、设备工作表面、围护结构、离子化静电消除器、微环境、医疗场所

等定义（见3.2、3.4、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、3.10、3.11、3.12和3.14）；

（3）静电来源和危害：

更改标题为“静电来源和危害”（见第4章，2017版的第4章）；

更改了原4.1“静电来源、危害及监测”中有关内容（见4.1、4.2，2017版的

4.1）；

删除了原4.2“控制”（见2017版的4.2）；

删除了原4.3“控制措施”（见2017版的4.3）；

（4）技术要求：

更改第5章标题为“技术要求”（见第5章，2017版的第5章）；

更改了原5.1为“一般要求”（见5.1，2017版的5.1）；

更改了原5.2为“人员”（见5.2，2017版的5.2）；

更改了原5.3为“工作表面”（见5.3，2017版的5.3）；

更改了原5.4为“环境和区域”（见5.4，2017版的5.4）；

增加了5.5“工艺设备及工具”；（见5.5）；

增加了5.6“ESDS产品包装、转运和储存”；（见5.6）；

增加了5.7“监视和测量”；（见5.7）；

（5）更改了原附录A“防静电洁净工作服主要性能”为“静电来源”（见附录

A，2017版的附录A）；

（6）增加了附录B“技术措施”（见附录B）；

（7）增加了附录C“不同场景的静电控制设施配置”（见附录C）；

（8）增加了附录D“等级划分和分类”（见附录D）；

（9）增加了附录E“电子行业防静电地面选择”（见附录E）；

（10）更改了参考文献（见参考文献，2017版的参考文献）。

3．主要编制工作

3.1调研

修订工作组于2023年9月至2023年10月，通过走访电子、航空航天、医疗

卫生等行业洁净室用户，与行业资深专家讨论等方式，梳理了用户在洁净室静电控

制要素和技术要求，形