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半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统_（1）.半导体制造环境控制概论.docx

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    半导体制造环境控制概论

    引言

    半导体制造过程对环境的要求极为严格，特别是对于洁净度的控制。环境控制系统（ECS）在半导体制造中的作用至关重要，它能够确保生产环境的温度、湿度、压力和洁净度等参数稳定在预设范围内，从而提高产品质量和生产效率。本节将详细介绍半导体制造环境控制系统中的洁净度控制系统的原理和内容。

    洁净度控制的重要性

    在半导体制造过程中，洁净度控制是确保产品品质的关键因素之一。半导体芯片的制造需要在高度洁净的环境中进行，以避免微粒污染导致的缺陷。洁净度控制不仅影响产品的良率，还关系到生产过程的稳定性和可靠性。以下几个方面说明了洁净度控制的重要性：

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