半导体制造环境控制系统（ECS）系列：湿度控制系统_6.湿度控制系统的类型：主动与被动控制.docxVIP

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6.湿度控制系统的类型：主动与被动控制

在半导体制造过程中，湿度控制是确保生产环境稳定和产品质量的重要环节。湿度控制系统主要分为两种类型：主动控制和被动控制。每种类型都有其独特的原理和应用场景，下面将详细介绍这两种湿度控制系统的原理和内容。

6.1主动湿度控制系统

主动湿度控制系统是指通过传感器实时监测环境湿度，并根据预设的湿度目标值，通过控制设备（如加湿器、除湿机）进行动态调节，以达到精确控制湿度的目的。这种系统通常用于对湿度要求较高的生产环境，如光刻车间、化学清洗车间等。

6.1.1原理

主动湿度控制系统的核心原理是闭环控制。具体步骤如下：

传

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