半导体制造环境控制系统（ECS）系列：压力控制系统_（5）.压力控制系统的组件与功能.docxVIP

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压力控制系统的组件与功能

压力传感器

压力传感器的工作原理

压力传感器是压力控制系统中最基本的组件之一，用于测量环境中的压力变化。半导体制造过程中，压力的精确测量对于确保工艺参数的稳定性至关重要。压力传感器通常基于物理或化学原理，将压力变化转换为电信号输出。常见的压力传感器类型包括压阻式、电容式、压电式和光学式等。

压阻式压力传感器

压阻式压力传感器利用材料的电阻变化来测量压力。当压力变化时，传感器内的电阻值会随之变化，从而改变输出电压。压阻式传感器具有高灵敏度和快速响应的特点，适用于动态压力测量。

电容式压力传感器

电容式压力传感器通过测量电容器的电容

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