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分布式控制系统（DCS）系列：Schneider Electric EcoStruxure Foxboro DCS_19.案例研究与应用实例.docxVIP

分布式控制系统（DCS）系列：Schneider Electric EcoStruxure Foxboro DCS_19.案例研究与应用实例.docx

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    19.案例研究与应用实例

    在本节中，我们将通过几个具体的案例研究和应用实例，详细探讨SchneiderElectricEcoStruxureFoxboroDCS在半导体工业控制系统中的实际应用。这些案例将涵盖不同场景下的系统设计、实施和优化，帮助读者更好地理解和掌握该系统的实际操作和性能提升方法。

    19.1案例研究：晶圆制造过程中的温度控制

    背景介绍

    晶圆制造过程中，温度控制是至关重要的环节之一。温度的微小变化可能会导致晶圆质量的显著下降，甚至报废。因此，精确的温度控制是提高晶圆制造效率和质量的关键。在本案例中，我们将探讨如何使用Schnei

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