测试板、测试架及高加速应力测试的温差控制系统及方法 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN111124004A

(43)申请公布日2020.05.08

(21)申请号CN201911267833.3

(22)申请日2019.12.11

(71)申请人苏州通富超威半导体有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区苏桐路88号

(72)发明人唐俊华宁福英

(74)专利代理机构北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人郭栋梁

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

测试板、测试架及高加速应力测试

的温差控制系统及方法

(57)摘要

本申请公开了一种测试板、测试架

及高加速应力测试的温差控制系统及方

法，该测试板包括：基板和阵列式分布在

基板上的多个样品卡槽，基板的一侧边设

置有引脚，样品卡槽用于装载待测样品，

样品卡槽上设置散热组件，散热组件位于

待测样品背离样品卡槽的面上，散热组件

通过螺纹件固定在样品卡槽；所述测试架

包括相互垂直的第一连接部、第二连接部

以及测试板。本申请公开的测试板和测试

架使产品的温度均衡，降低芯片温度与试

验箱环境温度的温差，真实模拟实验环境

下样品的工作状态，及时发现设计和工艺

故障；本申请公开的控制方法能够实时监

控测试样品与试验箱体的温差，不需要人

工监控和调节温差，进一步保证真实模拟

产品失效状态。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2021-11-23授权授权

2020-06-02实质审查的生效实质审查的生效

2020-05-08公开公开

权利要求说明书

1.一种测试板,包括:基板和阵列式分布在所述基板上的多个样品卡槽,所述基板的一

侧边设置有引脚,适于连接外部电路,所述样品卡槽用于装载待测样品,其特征在于,所

述样品卡槽上设置有散热组件,所述散热组件位于待测样品背离所述样品卡槽的面

上,所述散热组件通过螺纹件固定在所述样品卡槽上。

2.根据权利要求1所述的测试板,其特征在于,所述散热组件包括位于所述样品卡槽

开口上的铜片,所述铜片表面焊接有所述铝合金散热片,所述铜片通过所述螺纹件固

定在所述样品卡槽上。

3.根据权利要求2所述的测试板,其特征在于,所述铜片的长度等于所述样片卡槽的

长度,所述铜片的宽度等于所述样品卡槽两外侧壁之间的宽度。

4.根据权利要求1所述的测试板,其特征在于,待测样品与所述散热组件之间填充导

热层,所述导热层的厚度满足所述导热层的上表面与所述样品卡槽的开口平齐,所述

导热层的宽度不超过所述样品卡槽两内侧壁之间的宽度。

5.根据权利要求4所述的测试板,其特征在于,所述导热层为硅胶垫片。

6.一种测试架,其特征在于,包括:相互垂直的第一连接部、第二连接部以及根据权利

要求1-5任一项所述的测试板;

所述第一连接部表面间隔开设有相互平行的至少两个插槽,所述插槽与所述测试板

的引脚相对应,所述第二连接部表面开设至少两个凹槽,所述凹槽与所述插槽的位置

对应并垂直,用于固定所述测试板与所述引脚所在侧边相邻的侧边。

7.根据权利要求6所述的测试架,其特征在于,所述第一连接部位于相邻两个插槽之

间设置有接线端子。

8.根据权利要求6所述的测试架,其特征在于,所述第二连接部相邻两个凹槽之间设

置至少一个镂空区。

9.一种高加速应力测试的温差控制系统,其特征在于,包括:

试验箱、电源、第一温度传感器、第二温度传感器、处理器、控制器以及根据权利

要求7所述的测试架;

待测试样品通过电线连接所述测试架上的接线端子,所述测试架安装在所述试验箱