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半导体芯片PCM测试技术的应用研究

摘要：随着半导体集成电路生产规模越来越大，过程控制变的非常重要．作为工艺过

程监控的PCM系统的自动化程度越来越高，但是在测试中仍然有很多的细节问题需要重

视，否则就会得出谬误的数据，误导工艺人员，造成不必要的产品报废．文中通过对PCM

测试中一些具体问题的分析，探索研究测试中一些容易忽略的细节。

关键词：半导体芯片；PCM测试技术；应用；

前言：半导体芯片的测试是生产的一个重要环节，测试是对半导体产品质量进行控制

的重要手段，每个芯片都有自己的数据，在测试过程中或是在测试结束时，产生并以各种

数据文件的形式保存到计算机上，而后需要收集、发送到指定的地方，用来进行备份保

存、数据分析等。

一、PCM测试设备的结构

半导体芯片制造中的PCM设备，按作用来说可以分为两类，用于集成电路产品测试

和用于器件产品测试不同的测试系统其结构可能会有不同，但是基本上每个测试系统都含

有以下3部分：电脑、测试机、探针台，电脑通过PCI接口卡和测试机进行通讯，PCI接

口卡通过专用电路将PCI总线数据转换成测试机数据总线和地址总线，并通过接口卡控制

测试机的电源。PCM测试系统通过GPIB接口卡对探针台进行控制，通过调用GPIB卡的驱

动函数，可以对探针台发出各种命令，监测探针台的状态、设置探针台的工作模式以及控

制探针台的动作，这样可以对圆片上的任意测试点进行快速定位，并可以对探针台的返回

数据进行采集。

2.半导体芯片PCM测试技术的应用

1.半导体芯片测试的要求。要求网络系统具有一定的稳定性，这与对文件系统的要求

一样，应用程序的共享和数据文件的实时或周期性传输都是基于稳定的网络状态，不够好

的网络状态会导致数据文件的丢失，严重时则会导致生产线停止作业，而对于高成本的半

导体行业来说，时间也是昂贵的成本。由于企业规模和操作方式不同，数据分享和传输也

会有所不同，但是万变不离其宗，基于企业数据文件系统看重的是数据管理的可靠、稳

定、安全和高效。总之，在半导体芯片测试的过程中，优异可靠的计算机系统性能会以稳

定的数据文件系统和高效可靠的数据传输系统节省传输时间，避免任何原因引起的应用程

序运行错误和数据文件传输错误。

2.交流电源存在有很多的噪声，这些剩余的噪声会对测量结果产生影响，这也是造成

测量不准确的关键因素之一。预防措施：可以采用平均读数的方法，将交流噪声消除。同

步测量的原理是：当开始测量时，测试机的采样周期是50郎，在一个交流电周期

20ms(使用的交流电的频率是50Hz)内，采样400次，然后将这400个值进行平均，取平

均值作为最后的测量结果．表2中是在10Mf2电阻两端加100mV的电压，循环测量10次

电路中的电流值，不用同步测量和用同步测量所得值的比较，半导体芯片测试生产线通常

是很多台测试机并行工作产生数据文件，工作站会根据应用程序的要求随时访问网络资源

或者存储资源，也可能是多用户同时对共享资源进行访问，于是会需要文件服务器。文件

服务器是用来在企业局域网中让所有用户都可以访问的文件存储设备，它不仅要存储数据

文件还要在用户请求和改变文件时管理这些文件并保持这些文件的顺序。文件服务器需要

处理多用户发出的请求，这些请求也可能会同时到达；文件服务器包括处理器和控制软件

以及用于存储文件的磁盘。对于芯片测试生产来说，可以根据企业的具体需求集散数据文

件、保存日志文件或备份文件等。文件服务器常常是一台专门用来管理共享文件的、有大

硬盘的计算机，它通过专有的应用程序，多台工作站的使用就意味着多台工作站的安装、

配置，如果有上百台的计算机，就不仅有大量的重复工作，而且从整体来讲会浪费很多空

间，是对企业人资源和物质资源的浪费；此外，各种应用程序的编写和维护也都会越来越

复杂。这样做会有助于以有组织、有效率的方式共享应用程序，使应用程序更容易管理和

维护。芯片测试中使用的共享应用程序可能需要升级或是打补丁等，如果是安装在每一工

作站上，那么即便一个小小的改动也需要在每一工作站上操作一次，这样不仅是精力的浪

费，也是不容易管理、容易出现错误的。

3.数据文件的存放。在芯片测试过程中或测试结束后，测试结果会以文件的形式保存

到计算机中，不同的企业可能会开发不同构成的文件，但目的都是要记录产品信息、测试

项目和结果的信息，以便分析。测试是通过专有的测试机完成的，数据文件保存在相应的