2023年全球及中国精密运动系统、晶圆级键合设备、激光退火设备、静电.pdfVIP

2023年全球及中国精密运动系统、晶圆级键合设备、激光退火设

备、静电卡盘行业下游应用市场需求规模前景预测及重点企业竞争

战略研究预测

（1）精密运动系统：

1、精密运动系统简介：精密运动系统，是指定位精度达微米或

纳米级别的定位与传输运动模组。精密运动系统主要由直线电机作

为驱动单元，配套精密光栅尺作为测量反馈单元，通过精密直线线

导轨实现导向，并通过闭环控制实现在三维空间内任意一点的精准

定位。精密运动系统的定位精度决定了整机设备的加工或测量精

度，其速度和加速度则决定了整机设备的生产效率。精密运动系统

广泛应用于半导体检测、PCB板曝光、LCD和OLED面板检测、生物

检测、激光加工等行业领域。

中金企信国际咨询权威公布《全球及中国精密运动系统市场竞

争战略研究及投资前景可行性评估预测报告（2023版）》

主要优势企业分析：

①Aerotech：Aerotech总部位于美国宾夕法尼亚州匹兹堡。自

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1970年起，该公司专注于运动控制和定位系统的设计、研发和生

产，提供高精度的精密运动控制产品，广泛应用于医疗设备、电子

制造、平板显示和汽车工业等领域。Aerotech在高端精密运动系统

市场处于领导地位。

中金企信国际咨询权威公布《晶圆级键合设备行业市场深度调

研及投资规划指导可行性预测报告（2023版）》

②Newport：Newport成立于1969年，总部位于美国加州。该公

司主要从事高精度机械设计、研发和制造，提供手动定位和运动控

制标准及自定义产品，广泛应用于电子制造、航天、精密工业制造

等领域。2016年，Newport成为了MKSInstruments的全资子公

司。Newport在高端精密运动系统市场处于领导地位。

③PI：PI总部位于德国，主要从事短行程精密定位台的设计与

制造，提供精密压电陶瓷纳米级定位台、精密多轴线轨运动系统、

精密多轴气浮运动系统等产品。PI在高端精密运动系统市场处于领

导地位。

2、市场前景：精密运动系统的应用场景广泛，其市场规模主要

受下游应用市场的推动。在生物医疗领域，随着基因测序技术的突

破与提高，临床医学将逐步采用基因测序仪进行人体疾病的诊断与

预测；在液晶面板领域，在京东方、华星光电、维信诺等面板厂商

扩充产线及OLED国产化的带动下，AOI检测设备、激光修复设备、

曝光制造设备的需求将快速增长；在3C领域，自动化升级趋势为

3C制造企业带来新建生产线的需求，点胶机、屏幕切割机、屏幕检

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测机等自动化生产设备将被广泛使用；在新能源领域，随着电动汽

车锂电池的成熟，锂电池焊接设备等的需求将稳步提升。上述各个

领域的需求增长将共同推动精密运动系统市场的快速发展。

中金企信国际咨询权威公布《2023-2029年中国及全球激光退

火设备行业市场发展战略分析及投资前景专项预测报告》

3、发展情况及趋势：在技术方面，终端高端设备的需求增多对

精密运动系统的定位精度提出了更高的要求。精密运动系统的定位

精度要求从早期的5μm-10μm发展至1μm-5μm，随着技术的发展

和高端需求的增多，未来精密运动系统的定位精度将进一步提高至

0.5μm-1.0μm。

中金企信国际咨询权威公布《2023-2028年静电卡盘市场发展

格局分析及投资规模可行性评估预测报告》

在应用领域方面，随着工业领域的自动化水平不断提高，精密运

动系统将广泛应用于半导体检测、PCB板曝光、LCD/OLED面板检

测、生物检测、点胶机、激光加工、激光焊接等行业领域。

（2）晶圆级键合设备：

①晶圆级键合设备简介：半导体器件的垂直堆叠是一种提高器件

密度和改进性能的方法，键合是一种实现半导体垂直堆叠的方式，

而晶圆级键合则是指将经过抛光的晶圆通过键合的方式结合在一

起，形成晶圆的堆叠。目前，晶圆级键合已经成为了生产3D堆叠器

件的关键工艺。晶圆级键合设备是指将两片晶圆高精度对准、接

合，实现两片晶圆之间功能模块集成的设备。晶圆级键合设备可为

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集成设备制造商、代工厂以及外包半导体