《镍铬合金蒸发料》.pdf

YS/T×××—××××

镍铬合金蒸发料

1范围

本文件规定了镍铬合金蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、

贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于半导体行业用的镍铬合金蒸发料（以下简称蒸发料）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8647（所有部分）镍化学分析方法

GB/T8888重有色金属加工产品的包装、标志、运输、贮存和质量证明书

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分类和标记

4.1产品分类

产品为片状或柱状的颗粒。其牌号、形状、规格应符合表1的规定，供货状态为加工态。

表1产品牌号、形状、规格

规格

牌号形状mm

直径厚度宽度长度

NiCr10-99.95

片状—0.10～5.005.00～10.005.00～10.00

NiCr10-99.99

NiCr20-99.95

2.008.00——3.0010.00

柱状～～

NiCr20-99.99

4.2产品标记

产品标记按产品名称、文件编号、牌号、规格的顺序表示。

示例1：

用NiCr10-99.95牌号制造的、厚度为1.00mm、宽度为5.00mm、长度为5.00mm的片状产品，标记为：

YS/TXXXXNiCr10-99.95-1.005.005.00

片状蒸发料××

示例2：

用NiCr10-99.99牌号制造的、直径为3.0mm、长度为3.0mm的柱状产品，标记为：

2

YS/T×××—××××

YS/TXXXXNiCr10-99.99-φ3.03.0

柱状蒸发料×

5技术要求

5.1化学成分

蒸发料的化学成分应符合表2的规定。

表2化学成分

主要元素含量（质量分数）杂质含量（质量分数）

-6

牌号%10%，不大于

（Ni+Cr）aCrAlFeMgMnSiTiVZr杂质总和b

NiCr10-99.95余量