一种键合金丝及其制造方法 .pdfVIP

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1885531A

(43)申请公布日2006.12.27

(21)申请号CN200610021373.2

(22)申请日2006.07.11

(71)申请人中国印钞造币总公司

地址100000北京市西直门外大街143号凯旋大厦主楼

(72)发明人汪云林凌强

(74)专利代理机构成都九鼎天元知识产权代理有限公司

代理人刘世权

(51)Int.CI

H01L23/49

H01B1/02

C22C5/02

B23P23/04

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种键合金丝及其制造方法

(57)摘要

本发明公开了一种键合金丝及其制

造方法,属于连接半导体器件的材料技术

领域,该键合金丝的成分和含量(重量百分

比)为:99.99%≤黄金<100%,0.00008%≤

铍≤0.005%,0.00008%≤钐≤0.005%;该键

合金丝的制造方法是将满足所述配比的成

分加入真空炉,熔铸成真空铸锭,冷却后

开炉,取锭;本发明由于在含黄金99.99%

以上的键合金丝中加入了微量元素铍、

钐,提高了键合金丝的抗拉强度和伸长

率,特别适合于半导体行业对超细金丝的

使用。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

专利权人的姓名或者名称、地址

的变更IPC(主分类):H01L23/49

专利号:ZL2006100213732变更事

项:专利权人变更前:中国印钞造

专利权人的姓名或者

2022-09-20币总公司变更后:中国印钞造币集

名称、地址的变更

团有限公司变更事项:地址变更

前:610000四川省成都市温江区

黄金路189号变更后:610000四

川省成都市温江区黄金路189号

权利要求说明书

1、一种键合金丝,其特征在于:该键合金丝的成分和含量(重量百分比)如下:

99.99%≤黄金<100%,

0.00008%≤铍≤0.005%,

0.00008%≤钐≤0.005%。

2、根据权利要求1所述的键合金丝,其特征在于:该键合金丝还含有至少一种下

述含量的成分:

0.00008%≤钙≤0.005%,

0.00008%≤镁≤0.005%,

0.00008%≤钇≤0.005%,

0.00008%≤钆≤0.005%,

0.00008%≤钒≤0.005%,

0.00008%≤镍≤0.005%,

0.00008%≤银≤0.005%,

0.00008%≤铈≤0.005%,

0.00008%≤钯≤0.005%。

3、一种制造权利要求1或2所述键合金丝的方法,其特征在于:使用真空炉熔铸,

使各非金元素在缺氧条件下镕入金基体,并在炉内浇铸成真空铸锭;用拉丝机将铸

锭拉成细丝。

4、根据权利要求3所述键合金丝的制造方法,其特征在于:真空炉熔铸后,使用

小型连铸机铸造。

5、根据权利要求3所述键合金丝的制造方法,其特征在于:直径60微米以下的细

丝拉拔时使用连续退火炉加热。

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