基于PLC和MCGS的超高灵敏度检漏仪控制系统设计 .pdfVIP

2023年12月1日现代电子技术Dec.2023

ModernElectronicsTechniqueVol.46No.23

第46卷第23期

178

DOI：10.16652/j.issn.1004⁃373x.2023.23.033

引用格式：刘筱文，王毅，蔡宇宏，等.基于PLC和MCGS的超高灵敏度检漏仪控制系统设计[J].现代电子技术，2023，46（23）：178⁃182.

基于PLC和MCGS的超高灵敏度

检漏仪控制系统设计

刘筱文，王毅，蔡宇宏，韩仙虎，李正清，李小金，马凤英

（兰州空间技术物理研究所，甘肃兰州730000）

摘要：真空器件的寿命主要取决于封装结构的极小漏率，为了保证真空器件的真空寿命，通常需要其封装结构具有

极小的漏率。针对极小漏率的超高灵敏度检测，文中设计了基于PLC和MCGS的控制系统，通过工控机与PLC之间的

Modbus通信以及与质谱计之间的OPC通信，实现了超高灵敏度检漏仪各部件的自动控制和底层数据的采集交换，提高了超

高灵敏度检漏仪的灵敏度和自动化水平。系统上位机由MCGS组态软件实现账户登录、数据导出、曲线动态显示等功能。

主程序及功能模块程序由PLC控制执行，提高了设备的可靠性，同时提高了检测效率，减少了检漏操作人员的劳动强度，减

小了误操作的可能性。

关键词：PLC；MCGS；OPC；Modbus；检漏仪；控制系统；组态软件；自动控制

中图分类号：TN876⁃34文献标识码：A文章编号：1004⁃373X（2023）23⁃0178⁃05

Designofultra⁃highsensitivityleakdetectorcontrolsystembasedonPLCandMCGS

LIUXiaowen,WANGYi,CAIYuhong,HANXianhu,LIZhengqing,LIXiaojin,MAFengying

(LanzhouInstituteofPhysics,CAST,Lanzhou730000,China)

Abstract：Thelifetimeofvacuumdevicesmainlydependsontheminimumleakagerateofpackagingstructure.Usually,it

isrequiredthatthepackagingstructurehasaminimalleakagerate,soastoensureenoughvacuumlifeforvacuumdevices.

Therefore,acontrolsystembasedonPLC(programmablelogiccontroller)andMCGSisdesignedfortheultra⁃highsensitivity

detectionoftheminimalleakagerate.BytheModbuscommunicationbetweentheindustrialpersonalcomputerandthePLCand

theOPCcommunicationbetweentheindustrialpersonalcomputerandthemassspectrometer,theautomaticcontrolofthe

componentsofthel