晶圆机械手PLC控制系统的设计与实现分析 .pdfVIP

晶圆机械手PLC控制系统的设计与实现

分析

摘要：在半导体集成电路生产制作过程中，晶圆传递机械臂是不可缺少的重

要组成部分，为了使其整体控制精度和运行稳定性达到最大化，进而更好地提升

半导体集成电路的生产质量，关键任务就是要将PLC控制技术作为晶圆传递机械

臂的核心控制系统。本文也会根据半导体集成电路生产制作要求，提出一种晶圆

机械手PLC控制系统，并对其整体设计与功能调试要点展开着重分析，以便为相

关人士提供参考。

关键词：晶圆机械手PLC控制系统；设计要点；功能调试；研究分析

前言

晶圆是一种圆形的硅晶片，其在半导体集成电路生产制作中占有着很重要的

位置，可以加工制作成各种具有特定电性功能的电路元件结构。但是晶圆在生产

过程中，必须在真空环境下进行，且需要通过传递机械臂的辅助才能达到最终的

生产目标。同时，要想进一步提高半导体集成电路生产制作质量，还要利用PLC

控制技术对晶圆传递机械臂的运行速度和运行轨迹及运行稳定性实施全方位控制。

鉴于此，对晶圆机械手PLC控制系统的设计与实现开展深入分析很有必要。

1.晶圆机械手PLC控制系统概况及运动原理分析

1.1系统概况

在真空环境下，晶圆传递机械臂