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一种准确辨别碳化硅单晶位错类型的方法.pdfVIP

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  • 2024-12-09 发布于河南
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一种准确辨别碳化硅单晶位错类型的方法.pdf

    （19）中华人民共和国国家知识产权局

    （12）发明专利申请

    （10）申请公布号

    CN108169228A

    （43）申请公布日2018.06.15

    （21）申请号CN201711214286.3

    （22）申请日2017.11.28

    （71）申请人中国工程物理研究院电子工程研究所

    地址621999四川省绵阳市游仙区绵山路64号

    （72）发明人崔潆心;李俊焘

    （74）专利代理机构成都天嘉专利事务所(普通合伙)

    代理人蒋斯琪

    （51）Int.CI

    权利要求说明书说明书幅图

    （54）发明名称

    一种准确辨别碳化硅单晶位错类型的方法

    （57）摘要

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