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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN103499534A
(43)申请公布日2014.01.08
(21)申请号CN201310316628.8
(22)申请日2013.07.25
(71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
地址215123江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
(72)发明人陈沁孙福河
(74)专利代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人王锋
(51)Int.CI
G01N21/31
B81B3/00
B81C1/00
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
高灵敏太赫兹微流通道传感器及其
制备方法
(57)摘要
本发明提供了一种高灵敏太赫兹微
流通道传感器及其制备方法。该传感器包
括衬底和盖层，衬底和盖层上分别设有金
属平面反射镜和金属微结构层，金属平面
反射镜与金属微结构层之间形成有微流通
道，且当微流通道内存有被测液体时，金
属微结构层、被测液体和金属平面反射镜
形成的复合结构在太赫兹波段内具有共振
引起的强吸收特性；该方法包括：分别在
衬底和盖层上加工形成金属平面反射镜和
金属微结构层，其后将衬底与盖层固定连
接，并使衬底与盖层之间形成封闭微流通
道，而后在衬底和/或盖层上设置与微流通
道连通的通孔，形成用以向传感器内输入
输出被测液体的液流通道。本发明传感器
结构简单，易于加工和使用，且探测灵敏
度较之现有传感器有大幅提升。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种高灵敏太赫兹微流通道传感器，其特征在于，包括衬底和至
少一盖层，所述衬底上设有金属平面反射镜，所述盖层上设有金属
微结构层，所述金属平面反射镜与金属微结构层之间形成有至少一
用于被测液体流通的微流通道，并且，当所述微流通道内存有被测
液体时，主要由所述金属微结构层、被测液体和金属平面反射镜组
合形成的复合结构在太赫兹波段内具有共振引起的强吸收特性。
2.根据权利要求1所述的高灵敏太赫兹微流通道传感器，其特征在
于，它包括沿垂直于微流通道平面方向依次分布的两个以上盖层，
其中任一盖层朝向平面反射镜的面上均设有金属微结构层，所述金
属平面反射镜与相邻金属微结构层之间以及相邻盖层之间均形成
有微流通道，并且这些微流通道相互连通。
3.根据权利要求2所述的高灵敏太赫兹微流通道传感器，其特征在
于，这些微流通道沿垂直于微流通道平面的方向依次连通。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的高灵敏太赫兹微流通道传感器，
其特征在于，所述金属微结构层包括附着在
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