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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN114544024A
(43)申请公布日2022.05.27
(21)申请号CN202210165881.7
(22)申请日2022.02.21
(71)申请人电子科技大学
地址611731四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
(72)发明人李春张锐兰长勇林杰刘力文
(74)专利代理机构
代理人
(51)Int.CI
G01K7/22
C23C14/35
C23C14/24
C23C14/14
C23C14/58
C23C14/04
C23C16/30
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
一种柔性热敏传感器及其制备方法
(57)摘要
本发明公开了一种柔性热敏传感器
及其制备方法，所述柔性热敏传感器包括
柔性衬底、位于衬底上的二硒化钯(PdSe2)
热敏薄膜、金属电极及聚合物封装钝化
膜。所述制备方法具体步骤为：在柔性衬
底上直接生长或者转移一层二硒化钯薄
膜，二硒化钯通过等离子体增强化学气相
沉积法(PECVD)硒化制备而成，在二硒化
钯上镀金属电极，使用聚合物膜封装。本
发明的优点是低温兼容柔性基底，工艺简
洁，易于集成，便于大规模生产高灵敏性
柔性热阻型热敏传感器。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
2022-05-27公开发明专利申请公布
实质审查的生效IPC(主分
类):G01K7/22专利申请
2022-06-14实质审查的生效
号:2022101658817申请
日
发明专利申请公布后的撤回
IPC(主分类):G01K7/22专利申发明专利申请公布后
2022-12-02
请号:2022101658817申请公布的撤回
日
权利要求说明书
【一种柔性热敏传感器及其制备方法】的权利说明书内容是请下载后查看
说明书
【一种柔性热敏传感器及其制备方法】的说明书内容是请下载后查看
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