一种超大功率二维半导体锁相列阵稳定震荡模式技术.pdfVIP

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（10）申请公布号

CN101068065A

（43）申请公布日2007.11.07

（21）申请号CN200710048801.5

（22）申请日2007.04.03

（71）申请人蔡然

地址610054四川省成都市成华区建设北路二段四号电子科技大学科研楼704

（72）发明人蔡然

（74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

H01S5/40;

H01S5/00;

G02F1/35;

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

一种超大功率二维半导体锁相列阵稳定震荡模式技术

（57）摘要

本发明提供了服务于超大功率半导体列阵

稳定选择同相模震荡的双路自适应传感补偿稳模

系统技术，给出了构建位置可以互换的两路并联

的自适应传感补偿稳模系统的方式方法，包括基

于转折结构外腔构建与CCD1相关的一路测量外腔

形变的子系统和补偿外腔形变的子系统的方式方

法，与CCD2相关的一路测量外腔形变的子系统和

补偿外腔形变的子系统的方式方法；每一路测量

外腔形变的子系统通过各单元协同，测量被外腔

镜反射的He－Ne激光束波前斜率相关参数，计算

出外腔形变量和所需补偿量，再由补偿外腔形变

的子系统各单元协同，补偿一个方向的外腔形变

的方式方法；以及双路自适应传感补偿稳模系

统，在每一路自适应传感补偿稳模系统各测量一

个方向形变参数的基础上，联合协同优化补偿操

作，抵消β扰动引起的超模光成像位置的改变的

方式方法。通过构建适配外腔转折结构的两路并

联的自适应传感补偿稳模系统，实现了适时补偿

由残余热效应等引起的外腔镜随机形变，使得采

用倾斜匹配角度的外腔镜锁相的超大功率二维半

导体列阵稳定地震荡于同相模，保障列阵稳定输

出的高质量。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2007-11-07公开公开

2008-01-02实质审查的生效实质审查的生效

2010-02-03授权授权

2012-06-13专利权的终止专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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