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第11章全息散斑干涉计量

光信息处理技术的另一个重要应用是全息散斑干涉计量。众所周知，光的干涉是密

计量的i个重要方法。用于计量的传统的光的干涉是在两束相对平滑的波阵面之间发生

的，该方法直到二十世纪五十年代还不能用于散射表面的测量。这是因为在散射光场之间

或散射光场与平滑的波阵面进行干涉时干涉条纹的分布过于复杂密集，且散射光场与散射

表面之间的关系难于定量计算。六十年代初激光的产生促进了全息术的发展，由于全息术

具有三维记忆功能，它可以将存在于不同时间域和空间域中的随机光场波阵面引入同一时

间域和空间域中，为仅用于检测光学平滑表面的光干涉技术扩展到光学粗糙表面的检测提

供了可能。从1965年的最早报道…⑶之后，围绕不同的应用对象提出了许多方法

对测量结果的分析也由对拍摄的全息干涉图做手工分析发展成计算机条纹自动判读

5|o同时激光散斑测量自1968年关于散斑照相方法W-6I发表以来，发展出各种不同的散斑

测最方法R与全息二涉测曷方法结合产牛了可以测最三维变形的全息一散斑干涉法

81o最初建U在光程差分析基础上的全息干涉条纹形成的理论也被能够更确反映粗糙表面

散射光干涉现象的统计光学理论所取代⑼。本章将从这一理论入手，研究全息散斑干

涉计量技术。

1U光学粗糙表面散射光场的统计特性

仝息散斑干涉过程中信息的载体是作为电磁波的光，测量的对象是光学粗糙表面及其

有关物理量，如面型、应变、流场等。信息加载的方式很简单，激光照射到粗糙表面二，

由该表面散射的光波场就成为携带了信息的载体。研究全息散斑干涉首先要建立光学粗糙

表面散射的模型。光由产生、传播到接收的过程是一个多重随机过程，但是在本章讨论的

范围内，只考虑具有良好单色性的激光光源，而且一般认为工作环境是不变的。因此我们

约定把讨论的对象限制为单色的线偏振空间随机光场，只在某些必要的情况下特别指出

时，才涉及到时间变化的光场的随机特性。

1111物面系综上物表面散射光场的统计特性“山”

不失一般性，假设全息散斑干涉所测量的物表面为位于%（,%）的一个平面（见图

111），其复反射率可表示为火%（,），0）=厂工（0,1/0*0，%）］。照明光场复振幅为

AJx。,），。），因而物表面散射光场可表示为

A)，＞o)=R(x°,Jo)430，＞0)

=%，No)4(/，＞0)exp,Jo)](11.1)

X。Js平面

（b）全息记录平面上物光照明产生的收斑图像

图11.1全息记录原理

式中，与。%（,见））是与表面特定散射基元有关的量，在物表面系综意义上，它

们都是随机变量。由于照明光场一般都是空间缓变的量，散射光场特性主要由反射特性决

定。大量实验表明，光学粗糙表面上的散射光场具有以下统计特性：

（1）被测表面上各散射基元散射出的光场复振幅值与相位。%（,凡）彼此

统计独立，不同散射基元散射出的光场复振幅彼此统计独立。

2（）被测表面从光学上讲是粗糙的，即其表面起伏高度的标准差远大于照明光波的

波长，以至于可以认为。%（,凡）在区间-［匹4］上均匀分布，其概率密度函数

为

“0）旧…）

［。其（它）（112）

3（）被测表面散射基元非常细微，与照明区域及测量系统在物面上所形成的点扩散

函数的有效覆盖区域相比足够小，但与光波