一种梳齿电容式压力传感器.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN106092430A

(43)申请公布日2016.11.09

(21)申请号CN201610437118.X

(22)申请日2016.06.16

(71)申请人清华大学深圳研究生院

地址518055广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区

(72)发明人王晓浩吴一川张旻

(74)专利代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司

代理人徐罗艳

(51)Int.CI

G01L9/12

G01L1/14

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种梳齿电容式压力传感器

(57)摘要

本发明公开一种梳齿电容式压力传

感器，其特征在于：包括可动电极、固定

电极、连接可动电极和固定电极的弹性绝

缘连接件以及分别设置于可动电极和固定

电极两相对面上的多个梳齿电极，位于可

动电极上的梳齿电极与位于固定电极上的

梳齿电极相互平行地等间距交错排列，形

成多个梳齿电极对；且可动电极上的梳齿

电极和固定电极上的梳齿电极分别按照高

度梯度变化排列；相邻梳齿之间的间距小

于梳齿顶端到对面极板的距离的1/5。该压

力传感器不仅具有较高的综合灵敏度，而

且通过对梳齿电极设计不同的梯度模型，

可以调节出不同的电容‑压力关系曲线和

灵敏度变化曲线，从而使得该种压力传感

器适用范围更广，同时还具有可控、易控

的灵敏度。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种梳齿电容式压力传感器,其特征在于:包括可动电极、固定电极、连接可动电

极和固定电极的弹性绝缘连接件以及分别设置于可动电极和固定电极两相对面上的

多个梳齿电极,位于可动电极上的梳齿电极与位于固定电极上的梳齿电极相互平行

地等间距交错排列,形成多个梳齿电极对;且可动电极上的梳齿电极和固定电极上的

梳齿电极分别按照高度梯度变化排列;相邻梳齿之间的间距小于梳齿顶端到对面极

板的距离的1/5。

2.如权利要求1所述的梳齿电容式压力传感器,其特征在于:所述可动电极为上极板,

所述固定电极为下极板,所述弹性绝缘连接件用于连接上、下极板的边缘。

3.如权利要求2所述的梳齿电容式压力传感器,其特征在于:所述多个梳齿电极包括

第一梳齿电极组和第二梳齿电极组;

所述第一梳齿电极组垂直地设于上极板的下表面,包括多个相互平行且高度呈第一

梯度排列的梳齿电极;

所述第二梳齿电极组垂直地设于下极板的上表面,包括多个相互平行且高度呈第二

梯度排列的梳齿电极;

每个梳齿电极对均是由第一梳齿电极组内的一个梳齿电极和与之相邻的位于第二梳

齿电极组内的一个梳齿电极构成,并且各梳齿电极对的两个梳齿电极空气绝缘。

4.如权利要求3所述的梳齿电容式压力传感器,其特征在于:所述第一梯度与所述第

二梯度具有大小相同但方向相反的梯度模型。

5.如权利要求3所述的梳齿电容式压力传感器,其特征在于:所述第一梯度与所述第

二梯度具有完全相同的梯度模型。

6.如权利要求3所述的梳齿电容式压力传感器,其特征在于:各梳齿电极的本体为绝

缘材质,在表面沉积有导电金属层。

7.如权利要求6所述的梳齿电容式压力传感器,其特征在于:上、下极板的本体为绝

缘材质,在上极板的下表面和下极板的上表面分别沉积导电金属层。

8.如权利要求3所述的梳齿电容式压力传感器,其特征在于:上、下极板具有相同尺

寸参数,各梳齿电极的长度与上、下极板的长度相同。

说明书

p技术领域

本发明涉及电容式压力传感器,尤其涉及一种梳齿电容式压力传感器。

背景技术

电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换为与之成一定关系的电

容信号输出的压力传感器。其结构简单,可以进行动态测量,广泛应用于各种工作环

境。

对于平行板电容式压力传感器,使用可移