3 准光腔法介电常数测量系统测试技术规范-试验报告.docx

《准光腔法介电常数测量系统测试技术规范》实验报告

一、实验意义及目的

准光腔具有谐振频率高、品质因数高等特点，在毫米波、亚毫米波中的应用更广泛，是测量低损耗介质介电常数和介质损耗角正切的最有力设备。

准光腔介电常数测量系统的关键参数为相对介电常数实部、损耗角正切，本实验报告意在规范计量技术规范测试实验中数据记录、报告的具体内容及格式，以考察、验证新制定计量技术规范中规定的计量特性和测量方法的科学性、合理性和可操作性。

二、实验记录

2.1实验记录（一）

样品名称：单晶石英、蓝宝石、陶瓷标样R1；

型号：共焦式准光腔

制造厂商：台湾工业技术研究院/山东国瓷功能材料股份有限公司

出厂编号：MMC-C110NA

试验地点：山东国瓷功能材料股份有限公司高频量测平台；

试验环境（温度、相对湿度等）：23.5℃，48.2%；

测量人员：张鑫；

核验人员：孙莹莹；

测量项目及数据结果：

相对介电常数实部测量结果：

测试样品

测试频率

ε

单晶石英

22GHz

3.78

蓝宝石

28GHz

9.75

R1

28GHz

19.36

损耗角正切测量结果：

测试样品

测试频率

tan

单晶石英

22GHz

4.69E-04

蓝宝石

28GHz

1.05E-04

R1

28GHz

7.29E-04

2.2实验记录（二）

样品名称：单晶石英、蓝宝石、陶瓷标样R1；

型号：半球式准光腔、半共焦式准光腔；

制造厂商：台湾工业技术研究院/山东国瓷功能材料股份有限公司

出厂编号：MMC-H40NA

试验地点：山东国瓷功能材料股份有限公司高频量测平台；

试验环境（温度、相对湿度等）：23.8℃，47.8%；

测量人员：张鑫；

核验人员：孙莹莹；

测量项目及数据结果：

相对介电常数实部测量结果：

测试样品

测试频率

ε

单晶石英

28GHz

3.755

蓝宝石

28GHz

9.25

R1

24GHz

22.597

损耗角正切测量结果：

测试样品

测试频率

tan

单晶石英

28GHz

1.20E-04

蓝宝石

28GHz

5.14E-04

R1

24GHz

2.86E-04

2.1实验记录（一）

1.样品名称：单晶石英、蓝宝石、陶瓷标样R1；

2.型号：半共焦式准光腔；

3.制造厂商：成都恩驰微波科技有限公司；

4.出厂编号：XXX；

5.试验地点：山东国瓷功能材料股份有限公司高频量测平台；

6.试验环境（温度、相对湿度等）：23.5℃，49.1%；

7.测量人员：张鑫；

8.核验人员：孙莹莹；

9.测量项目及数据结果：

9.1相对介电常数实部测量结果：

测试样品

测试频率

ε

单晶石英-国瓷

28GHz

3.781

蓝宝石-国瓷

28GHz

9.284

R1-国瓷

28GHz

19.261

9.2损耗角正切测量结果：

测试样品

测试频率

tan

单晶石英-国瓷

28GHz

5.84E-04

蓝宝石-国瓷

28GHz

1.02E-03

R1-国瓷

28GHz

6.71E-04

三、结论

3.1共焦式准光腔介电常数测量系统中关于相对介电常数实部、损耗角正切的校准均符合技术要求；

3.2半球式准光腔介电常数测量系统中关于相对介电常数实部、损耗角正切的校准均符合技术要求；

3.3半共焦式准光腔介电常数测量系统中关于相对介电常数实部、损耗角正切的校准均符合技术要求。

本实验严格按照技术规范中的测量方法执行，未出现有分歧性或模糊性的操作，具有可操作性，实验数据可靠。通过实验验证，表明《准光腔法介电常数测量系统计量技术规范》测量项目与测量方法设置合理，可操作性强，可较全面的评价准光腔法介电常数测量系统的测量性能，具有可行性。