大长度比长装置校准规范实验报告（意见稿）.doc

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《大长度比长装置校准规范》

（征求意见稿）

实验报告

《大长度标准装置校准规范》编写组

2024年8月

目录

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一、实验报告说明 2

二、运动平台位移示值误差 3

三、运动平台位移示值漂移 8

四、运动平台及导轨综合直线度 10

五、运动平台目标定位误差 23

六、线纹瞄准重复性 25

七、置尺平台综合静摩擦力 26

八、实验结论 27

一、实验报告说明

1.1实验目的

大长度比长装置校准规范属于首次制定，为了验证大长度比长装置校准规范（征求意见稿）中规定的主要技术指标、校准条件和校准方法的合理性和可行性，对不同型号的大长度比长装置（以下简称比长装置）做相关实验进行验证。

1.2实验设备

实验所用主要标准器如下表：

序号

标准器名称

型号规格

编号

技术指标

1

激光干涉仪测量系统

5530/5519B

UUr(λ)=2.0×10-8（k=2）

2

激光干涉仪测量系统

5530/5519B

UUr(λ)=2.0×10-8（k=2）

3

标准钢卷尺

50m

01

U=3μm+2×10-6L（k=2)

4

砝码组

（0.01~1）N

NIM01

示值误差优于±1%

1.3实验人员

李连福、蒋远林

二、运动平台位移示值误差