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三自由度机械手论文：太阳能硅片移送用三自由度机械手
的研究
【中文摘要】工业机器人正在逐步取代人工完成某些复杂工作,
硅片制造业对环境洁净度要求极高,为了提高精度及效率,大量采用
机器人来代替人工完成加工、搬运等工作。本课题以太阳能硅片移
送用三自由度机械手为研究核心,开发出一种基于笛卡尔直角坐标系
的专门用于太阳能硅片自动搬运的高精度机械手,该机械手定位精度
高,控制简单,可取代人工搬运方式,实现太阳能硅片生产的局部自动
化。本文首先探讨机械手的机械结构,分析了各种坐标形式的机械手
结构,最终选定了直角坐标形式。机械手采用滚珠丝杠副实现三个方
向的运动,并根据该机械手的性能要求及特点,确定开环控制方式,采
用步进电动机作为机械手的驱动元件,PLC作为控制核心,由此确定
了硅片移送机械手的整体结构与控制系统。针对硅片移送快速的性
能要求,本文对机械手进行了时间最优轨迹规划,使机械手完成搬运
的时间最短。然后根据时间最优轨迹路进行了插补运算,采用直线插
补与圆弧插补两种方法,并且根据步进电动机特点提出具体执行方
式。在太阳能硅片移送机械手软件程序开发时,采用顺序设计方法编
写梯形图程序,并对PLC内部存储空间进行合理分配。最后完成了该
机械手的组装与调试,通过不同实验验证了机械手的性能。分析了重
力作用下形变对于机械手误差及定位精度的影响,采用脉冲补偿法进
行补偿,补偿后减少了机械手的误差。
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【英文摘要】Industrialrobotsaregraduallyreplacing
themanualtocompletesomecomplexwork，wafer
manufacturingrequiresahighdegreeof
environmentalcleanliness．Inordertoimproveaccuracyand
efficiency，alargenumberofrobotsbeingusedtoreplace
themanualcompletionofprocessing，handlingand
otherwork．Thispapertakesthesolarwafertransferrobot
withthreedegreesoffreedomastheresearchcore，
developedaspecializedsolarwafersforhigh-precision
automatichandlingrobotbasedonDescartesCartesian
coordinatesystem．Thismanipulatorhashighpositioning
accuracy，simplecontrol，andcanreplaceartificially
handlingmethodstorealizethelocalautomationproduction
ofsolarwafers．First，thispaperdiscussesthemechanical
structureofthemanipulator，analyzesthestructureofthe
manipulatorofcoordinates，andfinallyselected
therectangularcoordinateform．Robotadoptsballscrew-to
achievethemovementinthreedirections．Open-loopcontrol
modeisdeterminedaccordingtotheperformancerequirements
andfeaturesoftherobot．Adoptsteppermotoras
amanipulatordrivecomponent，PLCascontrolcore，then
definetheoverallstructureandcontrolsystemofthewafer
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transferrobot．Accordingtotheperformancerequirement
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