EUV光罩缺陷检测设备行业最新市场数据分析：EUV光罩缺陷检测设备市场规模达22.9亿元，同比增长11.9% [图].docx

EUV光罩缺陷检测设备行业最新市场数据分析：EUV光罩缺陷检测设备市场规模达22.9亿元，同比增长11.9%[图]

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共研产业研究院通过对公开信息分析、业内资深人士和相关企业高管的深度访谈，以及分析师专业性判断和评价撰写了《2025-2031年中国EUV光罩缺陷检测设备行业全景调研及发展前景报告》。本报告为EUV光罩缺陷检测设备企业决策人及投资者提供了重要参考依据。

为确保EUV光罩缺陷检测设备行业数据精准性以及内容的可参考价值，共研产业研究院团队通过上市公司年报、厂家调研、经销商座谈、专家验证等多渠道开展数据采集工作，并运用共研自主建立的产业分析模型，结合市场、行业和厂商进行深度剖析，能够反映当前市场现状、热点、动态及未来趋势，使从业者能够从多种维度、多个侧面综合了解当前EUV光罩缺陷检测设备行业的发展态势。

EUV光罩缺陷检测设备是一种用于检测极紫外（EUV）光刻技术中使用的掩膜板（也称为光罩或掩模）上的缺陷或图案放置错误的设备。

EUV光罩缺陷检测设备行业产业链

随着半导体技术的进步，芯片的工艺节点不断缩小，从7nm、5nm到3nm甚至更小，先进的工艺节点对光罩的质量要求非常高，需要更精确的缺陷检测设备来保证生产质量。EUV光刻技术已成为实现7nm及以下工艺节点的关键技术，因此EUV光罩缺陷检测设备的发展直接与EUV光刻技术的应用密切相关，预计2024年中国EUV光罩缺陷检测设备市场规模同比增长11.9%。

2019-2024年中国EUV光罩缺陷检测设备市场规模及增速

随着微型化的发展，以前太小而不成问题的缺陷和颗粒也会影响器件的产量，检测此类微小缺陷和颗粒的需求将增加对EUV掩模缺陷检测设备的需求。

2019-2024年中国EUV光罩缺陷检测设备占比