高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度校正研究.docx

PAGE7

高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度校正研究

高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度校正研究

高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度校正研究

摘要

目前，形貌测量机在高精度光学元件检测领域，尤其在粗磨、精磨成形阶段发挥着重要的作用。小尺寸高精度光学元器件，特别是不同曲率的棱镜元件，在航天航空，半导体等行业得到广泛的应用，由于其特殊的工作环境要求，对光学元器件的面型精度以及表面粗糙度等的要求都极高。在加工制造过程中，为了达到各项技术参数要求，对于不同曲率的棱镜的表面必须经过反复的检测，再将检测得到的形貌信息反馈到加工控制系统中，用于指导修正下一个加工工序。为了得到更准确的测量信息用于