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《多弧离子镀制备TiN-TiCrN-TiCrAIN多层硬质膜的研究》
多弧离子镀制备TiN-TiCrN-TiCrAIN多层硬质膜的研究多弧离子镀制备TiN/TiCrN/TiCrN多层硬质膜的研究
一、引言
随着现代工业技术的不断发展，硬质膜因其优异的耐磨、耐腐蚀和高温性能，在机械、电子、航空航天等领域得到了广泛应用。多弧离子镀技术作为一种先进的薄膜制备技术，因其高沉积速率、良好的膜层均匀性和优异的结合力等优点，在硬质膜的制备中具有显著的应用价值。本文将针对多弧离子镀制备TiN/TiCrN/TiCrN多层硬质膜的研究进行深入探讨。
二、研究背景及意义
TiN、TiCrN和TiCrN等材料因其高硬
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