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2023年ITO靶材项目评估报告.docx

2023年ITO靶材项目评估报告.docx

    ITO靶材项目评估报告

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    ITO靶材项目评估报告

    目录

    TOC\h\z29963概论 3

    10100一、ITO靶材项目建设目标 3

    7721(一)、ITO靶材项目建设目标 3

    21867二、ITO靶材项目建设内容 4

    19954(一)、建筑工程 4

    30760(二)、电气、自动控制系统 6

    12819(三)、通用及专用设备选择 8

    16094(四)、公共工程 10

    31811三、ITO靶材项目建设单位基本情况 11

    7796(一)、ITO靶材项目建设单位基本情况 11

    22452(二)、ITO靶材项目主管单位基

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