金属及其他无机覆盖层 镀层厚度的测量 裴索多光束干涉法.pdf

GB/TXXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围3

2规范性引用文件3

3术语和定义3

3.1测微目镜（Filarmicrometereyepiece）3

3.2刻度单位（Filarunits）3

3.3裴索平板（Fizeauplate）3

3.4干涉条纹（Fringelines）3

3.5指示线（Hairlines）4

3.6偏移量（Offset）4

3.7间距（Spacing）4

4原理4

5设备4

6影响测量精度的因素4

6.1反射覆盖层4

6.2台阶形状4

6.3读数精度5

6.4表面平整度5

6.5台阶清晰度6

6.6粗糙度6

6.7洁净度6

6.8台阶的制备6

7校准6

8检测步骤6

8.1台阶制备6

8.2测量程序6

9测量精度8

I

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件修改采用ISO3868:1976《金属及其他无机覆盖层覆盖层厚度的测量裴索多光束干涉法》。

本文件与ISO3868:1976的主要技术差异如下：

对照ISO3868:1976（第9章测量精度），依据国产多光束干涉仪各测量精度的现状，本标准修

改增加了“使用国产多光束干涉仪时，检测精度应参考设备的说明”。这些修改没有改变原文件的原理

及基本要素。

为便于使用，本文件相对ISO3868:1976还做了编辑性修改：

——新增了第二章规范性引用文件；

——将原文件中的第二章原理调整到本文件第四章，其他以此内推。

本文件由中国机械工业联合会提出。

本文件由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会（SAC/TC57）归口。

本文件起草单位：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司。

本文件主要起草人：段海涛、凃杰松、李健、贾丹、詹胜鹏。

II

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金属及其他无机覆盖层覆盖层厚度的测量裴索多光束干涉法

1范围

本文件规定了一种使用裴索多光束干涉仪测量覆盖层厚度的方法，所测量的覆盖层具有厚度较薄

（最大厚度2μm）且反射率高的特点。

本文件规定的测试方法不适用于搪瓷类覆盖层的测量。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T3138金属及其他无机覆盖层表面处理术语（GB/T3138—2015,ISO2080:2008,IDT）

GB/T12334金属和其他非有机覆盖层关于厚度测量的定义和一般规则（GB/T12334—2001,

ISO2064:1996,IDT）

GB/T6463金属和其他无机覆盖层厚度测量方法评述（GB/T6463—2005,ISO3882:2003IDT）

3术语和定义

GB/T3138、GB/T12334界定的以及