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分步重复光刻机项目可行性研究方案
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分步重复光刻机项目可行性研究方案
目录
TOC\h\z2999前言 3
11042一、分步重复光刻机项目选址 3
5009(一)、分步重复光刻机项目选址原则 3
28003(二)、原材料及主要辅助材料供应 4
12541(三)、交通条件 6
5039(四)、自然条件 8
16652(五)、经济发展状况 10
24266(六)、厂址选择 12
24962二、分步重复光刻机项目建设内容 15
7476(一)、建筑工程 15
22401(二)、电气、自动控制系统 16
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