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2023年硅力敏传感器项目风险可行性方案.docx

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    硅力敏传感器项目风险可行性方案

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    硅力敏传感器项目风险可行性方案

    目录

    TOC\h\z5102序言 3

    18967一、硅力敏传感器项目建设单位基本情况 3

    7967(一)、硅力敏传感器项目建设单位基本情况 3

    25513(二)、硅力敏传感器项目主管单位基本情况 5

    3223(三)、硅力敏传感器项目技术协作单位基本情况 7

    10717二、工艺方案的选择 8

    22222(一)、基本要求 8

    6877(二)、典型工艺技术介绍 10

    8826(三)、硅力敏传感器项目组成 11

    13048(四)、工艺技术方案的选择 13

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