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《基于集成无源器件制造工艺的微波生物传感器研究》

一、引言

随着科技的飞速发展，生物传感器在医疗诊断、环境监测、食品安全等领域的应用越来越广泛。微波生物传感器作为一种新型的生物传感器，具有高灵敏度、非侵入性、无损检测等优点，因此在生物医学和生物工程领域备受关注。本文将重点研究基于集成无源器件制造工艺的微波生物传感器，探讨其制造工艺、性能及应用。

二、集成无源器件制造工艺

集成无源器件制造工艺是微波生物传感器制造的关键技术之一。该工艺主要包括芯片设计、制造和封装等步骤。其中，芯片设计需要根据具体应用需求，设计出符合要求的电路和器件结构；制造过程中需要使用高精度的光刻、薄膜沉积、蚀刻等工艺，制备出