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压阻式压力传感器的仿真设计.docx

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    压阻式压力传感器的仿真设计

    SimulationDesignofPiezoresistivePressureSensor

    PAGEIV

    摘要

    生活中常用传感器进行某种测量，比如说测量温度、风速、空气湿度等，传感器可以通过某些规则将原本没有规律的信号转换成可以输出的信号。它由两部分构成，一部分是转换元件，另一部分是敏感元件，通过这两部分来实现自动控制和检测。而本文所研究的压阻式压力传感器则是基于单晶硅的压阻效应制作而成。全文首先子研究背景开始，介绍了压阻式压力传感器的研究现状，而后又对研究对象的基本原理进行了简要的阐述。最后使用仿真软件ANSYS

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