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第3讲真空获得⑴
张振厚李云奇
概述
真空的获得方法
人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断削减的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中，承受各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。明显，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是格外困难的。
在真空获得技术中，目前用以获得真空的技术方法有两种，一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出；另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温外表上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多，分类方法各异，但是，最常用
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