原创力文档- 1、本文档共6页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
勿以恶小而为之，勿以善小而不为。——刘备
。
洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
文件名：洁净室尘埃粒子检测标准操作规程文件编号：ZL/SOP/ZK/02100
制定人：日期：年月日文件类型：工作标准
审核人：日期：年月日版次：第一版
批准人：日期：年月日印数：共5份
生效日期：年月日颁发部门：综合办公室
分发至：质量副总经理、质量管理部、QC检验室、综合办公室
修订号修订人批准日期生效日期原因及目的
变
更
记
载
⒈目的：阐述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测
操作。
⒉范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作
⒊责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。
⒋测依据：
⒌内容：
5.1仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。
光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm；滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮
粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。
5.2测定标准
精选资料，欢迎下载
勿以恶小而为之，勿以善小而不为。——刘备
。
悬浮粒子最大允许数／立方米（a）
洁净度
静态(b)动态(b)频次
级别
≥0．5μm(d)≥5μm≥0．51μm(d)≥5μm
100级3500135001一次／月
10000级350013500002000一次／月
100000级3500002000350000020000一次／月
300000级350000020000不作规定不作规定
5.3测试方法
5.3.1仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
5.3.2采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。
5.3.4采样管必须干净、严禁渗漏。
5.3.5采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不大于
1.5m。
5.3.6计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生
测量误差。
5.3.7必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的
可靠性。
5.4测试规则
5.4.1测试条件
5
文档评论（0）