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勿以恶小而为之,勿以善小而不为。——刘备
第5章电容式传感器
第5章电容式传感器
主要内容:
5.1电容传感器工作原理和类型
5.2电容传感器输出特性
5.3电容传感器测量电路
5.4电容式传感器的应用举例
要求:了解电容式传感器的结构及工作原理、测量电路、应用方
法。
概述:
电容式传感器的应用技术近几十年来有了较大的进展,由于电容
测微技术的不断完善,作为高精度非接触式测量手段,广泛应用于科
研和生产加工过程。一般产品有测微仪器。
过去,电容式传感器主要用于位移、振动、角度、加速度等机械
量精密测量。现在还逐渐扩大应用于压力、压差、液面、成份含量等
方面的测量。电容式传感器的特点是:
小功率、高阻抗。电容器密度很小,一般在几十~几百微法,具有
高输出阻抗。
静电引力小(极板间),工作所需作用力很小。
可动质量小,具有较高的固有频率,所以动态响应特性好。
本身发热影响小。
可进行非接触测量。
5.1工作原理和类型
电容式传感器是将被测非电量变化成电容量的变化,电容式传感
器的基本原理可以用
平板电容器说明:
勿以恶小而为之,勿以善小而不为。——刘备
根据这一性质,电容器C可以通过改变(极板面积)称变面积型
传感器(较大范围测线,角位移);图5—1平板电容结构
改变(极板距离)称变极距型传感器(测小位移);
改变(极板介质)称变介质型传感器(测液面高度,料位)。
5.2输出特性
变极距型()
初始电容
图5—2变极距型电容传感器工作原理
由上式可知C—是反比非线性关系。所以这种传感器被限制在一
个较小的范围内变化才能近似线性。当减小时电容C增加,,。
电容相对变化
图5—3变极距型电容传感器输出特性
当时,用泰勒级数展开。
对上式作线性处理(忽略高次项)才能近似线性。
勿以恶小而为之,勿以善小而不为。——刘备
定义灵敏度:(单位位移引起的输出电容相对变化量)讨论:
要提高传感器灵敏度K应减小初始极距。但极间受电容击穿电压
限制,非线性随相对的位移的增加而增加,为保证线行度应限制相对
位移。
起始极距与K、相矛盾。适合测小位移。
为提高灵敏度和改善非线性,一般采用差动结构(一个动片,两
个定片)当一个电容量增加时(↗)另一个电容量减小(↘)。
差动式输出特性
差动式两电容的特征方程式为:
电容的总的变化量图5—4差动式变极距型电容传感器结构
;;
电容的相对变化量为:
忽略高次项
传感器(差动式)灵敏度:
相对非线性误差为:
结论:
勿以恶小而为之,勿以善小而不为。——刘备
差动式电容传感器比单个电容灵敏度提高一倍,非线性误差减小
(多乘因子)。
变面积型(S)
平
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