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先天下之忧而忧，后天下之乐而乐。——范仲淹

半导体纳米科技的发展与应用

1引言

诺贝尔奖获得者Feyneman在六十年代曾经预言：如果我们对物

体微小规模上的排列加以某种控制的话，我们就能使物体得到大量的

异乎寻常的特性，就会看到材料的性能产生丰富的变化。他所说的材

料就是现在的纳米材料。而半导体纳米材料就是对半导体材料用纳米

技术改造后的材料。

纳米半导体材料是指晶粒尺寸为纳米级(10-9米)的超细半导体材

料。它的微粒尺寸大于原子簇，小于通常的微粒，一般为0.1~100nm。

它包括体积分数近似相等的两个部分：一是直径为几个或几十个纳米

的粒子二是粒子间的界面。前者具有长程序的晶状结构，后者是既没

有长程序也没有短程序的无序结构。

1984年德国萨尔兰大学的Gleiter以及美国阿贡试验室的Siegel

相继成功地制得了纯物质的纳米半导体细粉。Gleiter在高真空的条件

下将粒径为6nm的Si粒子原位加压成形，烧结得到半导体纳米微晶块

体，从而使纳米材料进入了一个新的阶段。1990年7月在美国召开的

第一届国际纳米科学技术会议，正式宣布纳米材料科学为材料科学的

一个新分支。从材料的结构单元层次来说，它介于宏观物质和微观原

子、分子的中间领域。在纳米材料中，界面原子占极大比例，而且原

子排列互不相同，界面周围的晶格结构互不相关，从而构成与晶态、

非晶态均不同的一种新的结构状态，纳米半导体材料则是纳米材料中

的一个极其重要的分支，经过纳米技术改造的半导体材料有着不同寻

常的特殊性质。

在纳米半导体材料中，纳米晶粒和由此而产生的高浓度晶界是它

的两个重要特征。纳米晶粒中的原子排列已不能处理成无限长程有序，

通常大晶体的连续能带分裂成接近分子轨道的能级，高浓度晶界及晶

界原子的特殊结构导致材料的力学性能、磁性、介电性、超导性、光

学乃至热力学性能的改变。半导体纳米相材料跟普通的金属、陶瓷，

先天下之忧而忧，后天下之乐而乐。——范仲淹

和其他固体材料都是由同样的原子组成，只不过这些原子排列成了纳

米级的原子团，成为组成这些新材料的结构粒子或结构单元。其常规

半导体纳米材料中的基本颗粒直径不到100nm，包含的原子不到几万

个。一个直径为3nm的原子团包含大约900个原子，直径几乎是英文

里面一个句点的百万分之一，这个比例相当于一条300多米长的帆船

跟整个地球的比例。但就是这些“极小”的粒子，通过纳米技术的改

造，却有着各种奇异的性质。比如1975年，

英国W.G.斯皮尔在辉光放电分解硅烷法制备的非晶硅薄膜中掺杂

成功，使非晶硅薄膜的电阻率变化10个数量级，促进非晶态半导体器

件的开发和应用。非晶硅太阳能电池吸收系数大，转换效率高，面积

大，已应用到计算器、电子表等商品中。非晶硅薄膜场效应管阵列可

用作大面积液晶平面显示屏的寻址开关。利用某些硫系非晶态半导体

材料的结构转变来记录和存储光电信息的器件已应用于计算机或控制

系统中。利用非晶态薄膜的电荷存储和光电导特性可制成用于静态图

像光电转换的静电复印机感光体和用于动态图像光电转换的电视摄像

管的靶面，根据纳米半导体特殊性质而有针对性的应用的例子真是不

胜枚举。

2半导体纳米科技的