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扫描电子显微镜之SEM EDS样品制备方法.pdfVIP

扫描电子显微镜之SEM EDS样品制备方法.pdf

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学而不知道,与不学同;知而不能行,与不知同。——黄睎

扫描电子显微镜之SEMEDS样品

制备方法

编辑作者:驰奔COXEM【酷塞目】BeijingOffice(转载请注明出处)

扫描电子显微镜的优势为可以直接观察非常粗糙的样品表面,参

真空环境下观察,因此对样差起伏的材料原始断口。但其劣势为样品必须在

品有一些特殊要求,笼统的讲:干燥,无油,导电.

1、形貌形态,必须耐高真空,例如有些含水量很大的细胞,在真空中很快被抽

干水分,细胞的形态也发生了改变,无法对各类型细胞进行区分;

2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。油污在电子束作用下极端容易分解成

碳氢化物,对真空环境造成极大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖;成像

信号电子束光路引起极大象产量;碳氢化合物吸附在碳氢化合物降低了

探测器晶体表面,降低探测器效率。对低加速电压散;

碳氢化合物被吸附在的电子束干扰严重。

电子枪灯阴极材料的挥发,从而极大降低3、样品必须为干燥。水蒸气会加速

丝寿命;水蒸气会散射电子束,增加电子束能量分散,从而增大色

差,降低分辨能力。

背散射、样品表面必需导电:在大多数情况下,初级电子束电荷数量都大于4

学而不知道,与不学同;知而不能行,与不知同。——黄睎

电子和二次电子数量之和,因此多余的电子必须导入地下,即样品

表面电位必须保持在0电位。如果样品表面不导电,或

者样品接地线断裂,那么样品表面静电荷存在,使得表面负电势不断增加,出现

充电效应,使图像畸变,入射电子平面镜。电子束减速,此时样品如同一个

5、在某些情况下,样品制备变成重要的考虑因素。若要检测观察弱反差机理,

就必须消除强反差机理(例如,形貌反差),否则很难检测到弱的反差。当希型

磁反差或其他弱反差机理时,磁性材II和I背散射电子衍射反差,EBSD望

料的磁畴特性必需消除样品的形貌。采用化学抛光,电解等,产生一个几乎

消除形貌的镜面。

磁性材料,必须退磁.请问为什么?:特殊情况

扫描电镜样品的制备

1、金属和陶瓷样品:

1)、形貌观察

彻底的去除油污以避免碳氢化合物的污染。超声波清洗

机:溶剂为丙酮、乙醇、甲苯等。溶剂不危害样品表面形貌完整性

是非常重要的。

确定样品污染方法:在很高的放大倍数下观察样品,然后降低放大倍数(扫

描电镜为齐焦系统,高倍聚焦清楚,在低的倍数下不离焦),如果有污染,在低

倍会观察到原来高倍的扫描区域有明显黑色痕迹。污染物沉积的速率和电子束照

射区域的剂量有关,由于越高的放大倍数,相同扫描时间内样品单位面积电子束

照射剂量越大。

学而不知道,与不学同;知而不能行,与不知同。——黄睎

绝缘样品需要喷镀导电膜:真空蒸发镀膜技术和离子溅射镀膜

技术。实现导电,导热,很大程度上增加二次电子发

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