DB32_T 4894-2024 微机电系统半导体气体传感器性能检测方法.pdf

ICS31.080

CCSL40

微机电系统半导体气体传感器性能

检测方法

semiconductorgassensor

2024-11-07发布

江苏省市场监督管理局发布

中国标准出版社出版

目次

前言…………………Ⅲ

1范围…………………………1

2规范性引用文件……………1

3术语和定义………………………1

4试验条件…………1

5检测方法……………………2

6检测报告……………………5

附录A(资料性)测试箱装置介绍与气体配制方法…………6

参考文献……………………8

I

前言

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件内江苏省纳米技术标准化技术委员会提出、归口并组织实施。

木文件起草单位：苏州市计量测试院，苏州慧闻纳米科技有限公同。

木文件主要起草人：史苏娟、方丹、耿彦红、王瑞、董亮华、徐春、王震、孙旭辉。

Ⅲ

微机电系统半导体气体传感器性能

检测方法

1范围

本文件规定了微机电系统半导体气体传感器性能检测的试验条件、检测方法及检测报告。

本文件适用于微机电系统半导体气体传感器的性能检测。

2规范性引用文件

木文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用丁本文件。

3.1

微机电系统mlcro-electromechanicalsystems:MEMS

基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。

[来源：GB/T26111—2023,3.1.1]

3.2

半导体气体传感器semiconductorgastransducer/sensor

利用半导体材料的电导率变化，将感受的气体转换成可用输出信号的传感器。

注：包括表面电导式传感器和体电导式传感器。

[来源：GB/T7665—2005,3.3.1.1,有修改]

3.3

传感器检测装置sensortestmodule

用于将传感器特性转换为输出信号的测试装置。

[来源：GB/T34004—2017,3.5]

4试验条件

4.1环境条件

实验室内环境条件应符合以下要求：

a)环境温度：15℃~35℃,试验过程中温度波动不应超过±2℃;

b)相对湿度：25??80试验过程中相对湿度波动不应超过±5%;

c)大气压力：86kPa~116kPa。

4.2试验设备

试验设备应符合以下要求：

1

DB32/T4894—2024

a)秒表：分度值不大于0.1s:

b)功率计：功率0W~10w,分辨力0.1mW,最大允许误差：±10%

c)电压表：直流电压OV~50V,准确度级别优丁1.0级；

d)测试箱：测试箱内部结构及气体配制方法参照附