半导体厂GAS系统基础知识要点.pdfVIP

学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎

GAS

系

统

基

础

知

识

1/41

/

学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎

概述

HOOK-UP专业认知

一、厂务系统HOOKUP定义

HOOKUP乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到

预期的功能。HOOKUP是将厂务提供的UTILITIES(如水,

电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点(PORTOR

STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备

(SUBUNITS)。

机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并

将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经

由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气

处理系统。HOOKUP项目主要包括∶CAD，MOVEIN，CORE

DRILL，SEISMIC，VACUU，GAS，CHEMICAL，

D.I,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC,DRAIN.

二、GASHOOK-UP专业知识的基本认识

在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以BuckGas

（一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）

而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（MainPiping）至

次主管线（Sub-MainPiping）之TakeOff点称为一次配（SP1

2/41

/

学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎

Hook-up），自TakeOff出口点至机台（Tool）或设备（Equipment）

的入口点，谓之二次配（SP2Hook-up）。以SpecialtyGas（特殊

性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其

供气源为气柜（GasCabinet）。自G/C出口点至VMB（Valve

MainfoldBox.多功能阀箱）或VMP（ValveMainfoldPanel多功

能阀盘）之一次测（Prima