浮法抛光超光滑表面加工技术模板.docx

浮法抛光超光滑外表加工技术

浮法抛光技术首先消灭于日本,是加工超光滑外表的先进技术之一。本文介绍用浮法抛光加工超光滑外表的机械构造和加工过程,与传统的沥青抛光方法进展比较,分析材料去除机理。最终简洁介绍中国争论浮法抛光技术的进展。

正文

一、浮法抛光技术的产生与现状

光学零件的加工根本包括切割成型、研磨、抛光三道工序;最终的光学外表质量由抛光打算,因此抛光是最重要的工序。一般高质量光滑外表的抛光是以沥青或纤维等弹性材料作磨盘,配以抛光液或研磨膏来到达技术要求。

近年来,光学及微电子学极大地推动了光学加工技术的进展。大规模或超大规模集成电路对所用基片(一般为硅、锗等材料)