电容式传感器教学课件PPT.ppt

第6章电容式传感器;概述;概述;;概述;6.1电容式传感器的工作原理和结构;;变极距(δ）型:(a)、(e)

变面积型(A)型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)（h）

变介电常数(ε)型:（i）～(l);6.1.2变极距型电容传感器;6.1.2变极距型电容传感器—基本特性;①为了获得高灵敏度,一般d0(0.1-1mm)较小,但——d0过小易引起电容器击穿或短路。

②电容C与极距d成非线性关系,为了减小非线性误差,通常d变化范围

③此类电容传感器仅适于微小位移的测量

(0.01um～数百微米)。;一般变极距型电容式传感器的起始电容在20～100pF之间,极板间距离在25～200μm的范围内,最大位移应小于间距的1/10,故在微位移测量中应用最广。;6.1.2变极距型电容传感器—灵敏度/非线性;目的：

1.提高灵敏度

2.减小非线性误差;;6.1.3变面积型电容传感器;6.1.3变面积型电容传感器;;6.1.4变介质型电容式传感器;变介电常数电容式传感器原理动画演示;柱式;;6.1.4变介质型电容式传感器;小结;三种电容式传感器比较表;6.2电容式传感器的测量电路;6.2.1调频电路;6.2.2运算放大器式电路;6.2.3脉冲宽度调制电路;6.2.3脉冲宽度调制电路;6.2.3脉冲宽度调制电路;6.2.3脉冲宽度调制电路;6.2.4电桥电路;变压器电桥电路;缺点：由于电路输出为交流电，应进行相敏检波

后，才能辨别位移方向。;电容式传感器的优点：

(1)输入能量小而灵敏度高。

(2)精度高达0.01%。

(3)动态特型好，适合测量动态参数。

(4)能量损耗小。

(5)结构简单，环境适应性好(高温、辐射等)

缺点：电缆分布电容影响大。

集成电路、双屏蔽传输电缆等——降低分布电容影响。

广泛用于位移、压力、流量、液位等测量。;;电容式传感器的应用举例

1.电容式料位计;高压侧进气口;电容式传感器的应用举例

．电容式压力传感器;电容式传感器的应用举例

电容式压力传感器;电容式传感器的应用举例

电容式压力传感器;;各种电容式差压变送器外形图;6.3电容式传感器的应用（2）;硅微加工加速度传感器原理;硅微加工电容加速度传感器;微加工三轴加速度传感器;加速度传感器在汽车中的应用;汽车气囊的保护作用;利用加速度传感器实现延时起爆的钻地炸弹;6.3电容式传感器的应用???3）;6.3电容式传感器的应用（3）;6.3电容式传感器的应用（4）;6.3电容式传感器的应用（4）;齿轮转动时,电容量发生周期性变化,通过测量电路转换为脉冲信号,则频率计显示的频率计显示代表转速。设齿数为z,频率为f,则转速为;陶瓷电容压力传感器;6.3电容式传感器的应用（7）;电容式接近开关在液位测量控制中的使用;;三星SPH－V6800手机采用电容传感器控制某些功能，取代了部分机械按键;6-1说明电容式传感器的工作原理及其类型?

6-2推导差动式变极距型电容式传感器的灵敏度和非线性误差，并与单一型传感器做比较。

6-3说明脉冲宽度调制电路的工作原理及在差动电容相等和不相等时的各点电压波形。

6-4变极距型平板电容式传感器，d0=1mm，要求测量线性度为0.1%，求允许测量的最大变化量。